可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻机生产。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前,最先进的
2022-07-10 14:35
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外
2022-07-10 14:53
转换器是干什么用的?
2021-10-01 09:03
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
2022-07-10 15:28
发现【如图所示】,这些电路跟上面的这个电路没有什么本质的区别。 为了达到这个目的,我们就要提到两种物质,金属和光刻胶。这两种物质有一点特性是相反的:光刻胶是一种胶状物质,可以被光线
2019-03-14 14:12
经常听说,高端光刻机不仅昂贵而且还都是国外的,那么什么是光刻机呢?上篇我们聊了从原材料到抛光晶片的制成过程,今天我们就来聊聊什么是光刻~
2020-03-15 14:46
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台
2020-10-19 12:02
ASML的极紫外光刻机(EUV),这个是当前世界顶级的光刻机设备。 在芯片加工的时候,光刻机是用一系列光源能量和形状控制
2022-07-10 11:17
格芯首席技术官Gary Patton表示,如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机,那么光刻的步骤将会超过100步,这会让人疯狂。所以所EUV
2019-09-03 17:18