EUV 作为现在最先进的光刻机，是唯一能够生产 7nm 以下制程的设备，因为它发射的光线波长仅为现有设备的十五分之一，
2018-05-17 09:22
就是研发NA 0.5的光学镜片，这是EUV光刻机未来进一步提升分辨率的关键，不过高NA的EUV光刻机至少是2025-20
2020-07-07 14:22
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5
2022-07-10 15:28
光刻机和euv光刻机区别是是什么呢？ duv光刻机和euv光刻机区别 1
2022-07-10 14:53
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV
2020-10-19 12:02
光刻机是大规模集成电路生产的核心设备，它能够制造和维护需要高水平的光学和电子产业基础，全球只有少数制造商掌握了这一基础。 光刻机的作用是对芯片晶圆进行扫描曝光，对集成电
2022-07-10 14:35
光刻机誉为“现代半导体行业皇冠上的明珠”，是一种高度复杂的设备。光刻机是通过紫外光作为“画笔”，把预先设计好的芯片电路路线书写在硅晶圆旋涂的光刻胶上，
2022-10-27 09:39
EUV光刻机是在2018年开始出现，并在2019年开始大量交付，而台积电也是在2019年推出了7nm
2022-07-07 09:48
格芯首席技术官Gary Patton表示，如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机，那么光刻的步骤将会超过100步，这会让人疯狂。所以所EUV
2019-09-03 17:18
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03
