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    环栅器件沟道形成是在Si衬底上外延生长SiGe/Si的超晶格结构,然后进行选择性刻蚀形成堆叠Si纳米片沟道。该工艺的关键是:①外延高质量的SiGe/Si超晶格结构,并在浅槽隔离(Shallow Trench Isolation, STI)工艺后保持SiGe/Si的

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