晶圆常用的切割手段有很多，根据不同的材质和芯片设计采用不同的方式。常见的有砂轮切割、激光切割、金刚刀划片劈裂、还有隐形
2023-11-02 09:11
晶圆切割，作为半导体工艺流程中至关重要的一环，不仅决定了芯片的物理形态，更是影响其性能和可靠性的关键因素。传统的切割工艺已逐渐无法满足日益严苛的工艺要求，而新兴的激光
2025-08-05 17:53 苏州光子湾科学仪器有限公司 企业号
摘要：本文围绕基于纳米流体强化的切割液性能提升及对晶圆 TTV 均匀性的控制展开研究。探讨纳米流体强化切割液在冷却、润滑、排屑等性能方面的提升机制，分析其对
2025-07-25 10:12 新启航半导体有限公司 企业号
芯片是晶圆切割完成的半成品，晶圆是芯片的载体，将晶
2022-01-29 16:16
本文主要介绍了晶圆的结构，其次介绍了晶圆切割工艺，最后介绍了晶
2019-05-09 11:15
