,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
龙头。 而在上世纪80年代,ASML只是飞利浦和ASM合资的一家小公司。但伴随着半导体行业风云变化,短短二十年时间,ASML就将昔日光刻机大国美国和日本拉下神坛。如今,全球7n
2020-11-13 09:28
5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别? EUV光刻机产能如何? 大飞_6g(听友) 请问谢博士,EUV
2021-03-14 09:46
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
大家都知道,目前我国光刻机技术至少落后荷兰ASML15年,目前荷兰ASML的顶级光刻机可以达到7nm工艺,目前他们正大研
2020-04-19 23:43
本文首先介绍了asml公司,其次介绍了关于asml公司的股东以及各个股东的简介,最后带领大家了解一下荷兰光刻机为什么受到青睐的厉害之处。
2018-04-10 14:15
台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这
2018-10-19 10:49
%,净利润达到36亿欧元。全球光刻机主要玩家有ASML、尼康和佳能三家,他们占到了全球市场90%。 ASML由于技术领先,一家垄断了第五代光刻机EUV
2021-01-22 10:38
,不过ASML对这个机器是不放行的,主要是美国强制要求。 EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品,由于采用了极紫外线,它的最小工业节点到了 22nm-7nm,可以
2020-11-10 10:08