实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,
2020-07-07 14:22
把被摄物体的影像复制到底片上。 而ASML光刻机在做的光刻,我们称之为微影制程,原理是将高能雷射光穿过光罩(reticle),将光罩上的电路图形透过聚光镜(projectionlens),将影像缩小
2020-09-02 17:38
在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研
2020-03-17 09:13
在芯片制造环节中,光刻机是核心设备。没有光刻机,半导体或遭断链危机,摩尔定律将停止,人类也就无法设计、制造和封装硅芯片。放眼全球,一家叫做ASML(阿斯麦)的荷兰公司市场占有率达80%,是行业的绝对
2020-11-13 09:28
近日,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)公司2019年的年报中披露了关于下一代EUV极紫光刻机的研发进程,预计2022年年初开始出货,2024年实现大规模生产。
2020-03-17 15:25
无独有偶,在中科院宣布介入光刻机研发之后,ASML宣布将在中国加大布局。阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波近日对媒体表示:“
2020-10-22 18:11
本文首先介绍了asml公司,其次介绍了关于asml公司的股东以及各个股东的简介,最后带领大家了解一下荷兰光刻机为什么受到青睐的厉害之处。
2018-04-10 14:15
近日中科院白院长就宣布,中科院开始了研发光刻机的计划。据说这则消息一出,围绕着光刻机产业的一些关键厂商,可以说都开始坐不住了,其中就涉及到了ASML,以及ASML的重要
2020-09-27 14:06
据羊城晚报报道,近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机,顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区,中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机,主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36
在芯片制造的产业链中,光刻机是必不可少的精密设备,是集成电路芯片制造中最复杂和关键的工艺步骤。“我国EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,基于SSMB的EUV光源有望解决自主
2021-03-10 15:45