台积电前不久试产了7nm EUV工艺，预计明年大规模量产，三星今天宣布量产7nm EUV工艺，这意味着EUV工艺就要正式
2018-10-19 10:49
光刻机原型 接下来ASML在2006年推出了EUV光刻机的原型，2007年建造了10000平方米的无尘工作室，在2010年造出了第一
2020-07-07 14:22
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV
2020-10-19 12:02
EUV 作为现在最先进的光刻机，是唯一能够生产 7nm 以下制程的设备，因为它发射的光线波长仅为现有设备的十五分之一，能够蚀刻更加精细的半导体电路，所以 EUV 也被
2018-05-17 09:22
一提起ASML这家公司，就少不了对光刻机问题的讨论，因为截至目前，ASML仍然是全球最领先的光刻机厂商。普通的DUV光刻机
2021-02-27 09:59
EUV光刻，但过程层数较少。按照ASML（阿斯麦）的说法，迭代到5nm后，EUV的层数达到了14层，包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm，对
2020-11-13 13:06
据羊城晚报报道，近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机，顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区，中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV
2021-07-29 09:36
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5
2022-07-10 15:28
三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA
2022-07-05 15:26
在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26
2020-03-17 09:13
