实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,上面放的就设计
2020-07-07 14:22
龙头。 而在上世纪80年代,ASML只是飞利浦和ASM合资的一家小公司。但伴随着半导体行业风云变化,短短二十年时间,ASML就将昔日光刻机大国
2020-11-13 09:28
把被摄物体的影像复制到底片上。 而ASML光刻机在做的光刻,我们称之为微影制程,原理是将高能雷射光穿过光罩(reticle),将光罩上的电路图形透过聚光镜(projectionlens),将影像缩小
2020-09-02 17:38
,不过ASML对这个机器是不放行的,主要是美国强制要求。 EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品,由于采用了极紫外
2020-11-10 10:08
本文首先介绍了asml公司,其次介绍了关于asml公司的股东以及各个股东的简介,最后带领大家了解一下荷兰光刻机为什么受到
2018-04-10 14:15
在光刻机领域,荷兰ASML公司几乎垄断了全球高端光刻机市场,在EUV光刻机中更是独一份,7nm及以后的工艺都要依赖EUV
2018-08-23 10:45
近日,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)公司2019年的年报中披露了关于下一代EUV极紫光刻机的研发进程,预计2022年年初开始出货,2024年实现大规模生产。
2020-03-17 15:25
一提起ASML这家公司,就少不了对光刻机问题的讨论,因为截至目前,ASML仍然是全球最领先的光刻机厂商。普通的DUV
2021-02-27 09:59
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
日前晚间,据彭博社爆料称,美国正在对荷兰政府施压,要求其光刻机企业ASML禁止向中国大陆出售包括DUV光刻机在内的重要技术
2022-07-06 18:00