MEMS制程各工艺相关设备的极限能力又是限定器件尺寸的关键要素，且其相互之间的配套方能实现设备成本的最低；下面先简要介绍一下前段制程的特点及涉及的设备。
2021-01-11 10:35
在之前的文章中我们已经对集成电路工艺的可靠性进行了简单的概述，本文将进一步探讨集成电路前段工艺可靠性。
2025-03-18 16:08
晶洲装备（KZONE）面向AMOLED主工艺量产设备通过Particle、Defect、CD等单元工艺指标验证，压力流量等各Parameter等设备指标均通过自检及客户端验收，在武汉客户面向折叠及柔性
2019-12-14 10:03
其制造工艺流程如下：首先形成补偿侧墙 (Offset Spacer)，经n+/p+轻掺杂源漏后，选择性地进行图形化，在p型源漏区先进行干法刻蚀，使其凹陷适当的深度(30~100nm)；然后采用湿法各向异性刻蚀形成“钻石”形腔（Diamond Cavity，又称“∑”形状）
2023-01-05 14:08
在硅表面保留的这一层氧化层，在后续每步工艺中将发挥重要的保护作用。补偿侧墙用于隔开和补偿由于 LDD 离子注入（为了减弱短沟道效应）引起的横向扩散，对于 45nm/28nm 或更先进的节点，这一步是必要的。
2022-12-09 14:45
AMOLED制造工艺流程主要可分为背板段、前板段以及模组段三道工艺。 背板段工艺主要通过成膜，曝光，蚀刻叠加不同图形不同材质的膜层以形成LTPS（低温多晶硅）驱动电路，
2020-10-09 15:11
AMOLED（Active Matrix/Organic Light Emitting Diode）是有源矩阵有机发光二极体面板。相比传统的液晶面板，AMOLED具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点。
2018-03-19 13:51
本文介绍可弯曲AMOLED显示器的发展现况，以及其商品化上所面临的关键问题，包括基板材料、TFT技术、封装与制程技术等。可弯曲AMOLED的关键问题，皆已有可行的解决方向，未来若能持续发展及整合，可弯曲AMOLED可
2013-02-04 09:10
中国AMOLED产业投资近几年达到高潮，根据CINNOResearch数据统计，目前中国大陆共有17条AMOLED产线, 投资金额在未来三年均维持在1000亿人民币左右的规模。
2019-01-27 09:35
随着移动通信技术的快速发展，可供选择的手机业务种类越来越多。人们在注重手机功能的同时也开始提高对手机屏幕画面质量的要求。 AMOLED在手机上的应用 屏幕作为一台手机的面子，也首当其冲地成为了大家
2018-07-21 08:28
