晶圆测温系统,晶圆测温热电偶,晶圆测温装置一、引言随着半导体技术的不断发展,晶圆制造工艺对温度控制的要求越来越高。热电偶作为一种常用的温度测量设备,在晶
2023-06-30 14:57 安徽鼎诺仪器科技有限公司 企业号
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2021-11-23 14:05 深圳市致知行科技有限公司 企业号
TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度,以及晶圆整体的温度分布,同还
2023-12-21 08:58 合肥智测电子有限公司 企业号