3 月 13 日消息,光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装,新机型将带来更高的生产效率。 ▲ ASML 在 X 平台上的相关动态
2024-03-14 08:42
所谓低数值孔径EUV,依然是行业绝对领先。
2024-03-15 10:15
根据ASML官网信息显示,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
2023-09-04 16:48
据悉,签署的谅解备忘录包括在比利时鲁汶设置imec测试线及asml的所有尖端光标及测量设备的服务。最新款0.55 na euv (twinscan exe:5200)、最新款0.33 na euv
2023-06-30 09:29
目前主力出货的TWINSCAN NXE: 3600D套刻精度为1.1nm,曝光速度30 mJ/cm2,每小时曝光160片晶圆,年产量为140万片。
2022-12-21 10:22
10月14日,荷兰ASML(阿斯麦)公布了光刻机产品的最新进展。其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统,终于敲定最终规格。
2020-10-15 09:47
英特尔的研发团队正致力于对这台先进的ASML TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻机进行细致的校准工作,以确保其能够顺利融入未来的生产线。
2024-04-22 15:52
这份广告就是使用了TWINSCAN NXT1970Ci光刻机制作的,ASML在德国的亚琛工业大学(RWTH Aachen)举行大学生招聘会时首次展示这条广告,学生们只能使用电子显微镜查看它。
2018-10-12 16:16
据今年2月份报道,荷兰半导体制造设备巨头ASML公布了High-NA Twinscan EXE光刻机的售价,高达3.5亿欧元(约合27.16亿元人民币)。而现有EUV光刻机的价格则为1.7亿欧元(约合13.19亿元人民币)。
2024-05-15 14:42
ASML先前表示荷兰政府的这些措施预计不会对2023年或更长远的财务前景产生重大影响。根据报道,这些限制将阻止ASML旗下“TWINSCAN NXT:2000i”、“NXT:2050i”及“NXT:2100i”3种型号的DUV出货到中国。
2023-06-26 14:59