具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器
2020-12-26 00:18
具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器
2018-12-09 10:25
制得加热元件和传感元件，使MOS传感器缩小到仅一颗单芯片大小。深反应离子刻蚀为加热元件和传感元件提供了热隔离。MEMS技
2018-04-17 11:44
的角色。 随着经济的发展、技术的进步，气体传感器的应用更加广泛，逐渐向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。这些年，随着MEMS（微机电系统）技术的进步，以MEMS技
2024-01-17 17:58
热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。
2023-12-28 16:26
环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等。MEMS温度传感器可用于任何需要检测温度的地方。
2023-07-26 14:22
许多气体传感器的工作原理是通过将气体分子吸附到金属氧化物（MOS）元件的表面，吸附的气体分子与这种金属氧化物表面相互作用
2023-12-15 10:55
应用先进的MEMS技术，使气体传感器在小型化与降耗节能方面成功实现了质的飞跃，这不但让从前难于设置气体传感器的小型设备有
2021-12-06 15:15
气体传感器是一种用于检测和测量周围环境中的气体浓度的装置。它可以广泛应用于工业生产、环境监测、安全警报和医疗诊断等领域。根据工作原理和检测气体的类型，
2024-02-02 13:49
技术领域中重要门类之一，它包括半导体气体传感器、固体气体传感器、催化燃烧气体传感
2018-08-20 16:18
