具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器
2018-12-09 10:25
制得加热元件和传感元件，使MOS传感器缩小到仅一颗单芯片大小。深反应离子刻蚀为加热元件和传感元件提供了热隔离。MEMS技
2018-04-17 11:44
技术领域中重要门类之一，它包括半导体气体传感器、固体气体传感器、催化燃烧气体传感
2018-08-20 16:18
MEMS传感器是一种微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器，它将传感器和微机电系统集成在一起，利用微纳技术实现微型化
2024-10-18 15:33
气体传感器的种类很多，分类标准不一，根据传感器的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的机理和效应不同主要可分为半导体气体
2019-04-28 14:56
固体电解质气敏传感器有电流型和电压型两种，电流型的灵敏度高，测量范围大，温漂小。但它的输出电流和敏感性能与电极尺寸关系密切。传统的烧结体型器件难于控制电极尺寸，因而输出的电流和敏感性能也难于控制。由于MEMS技术制作的器件电机尺寸精度高，因而
2018-12-11 15:03
MEMS让传感器小型化、智能化，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度
2018-04-12 11:25
气体传感器发展至今，在石化领域的应用愈来愈深入，同时随着科技的进步，气体传感器的应用逐步扩展到众多垂直领域。
2019-09-12 15:51
MEMS生物传感器目前处于发展初期。MEMS生物传感器是利用生物分子探测生物反应信息的器件。
2019-07-25 14:19
受惠于2007 年苹果手机和任天堂Wii 游戏机的诞生，MEMS 在消费电子领域迎来喷薄式的发展。iPhone 6S 包含加速度计、电子罗盘、陀螺仪、MEMS 麦克风、接近光传感器、环境光
2019-04-02 15:54
