，方便测试及维护。总体封装后如图8所示。图8总体封装外观图该MEMS硅压阻汽车压
2011-09-20 15:53
摘要：采用微机电系统（ MEMS） 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小，灵敏度高的优势，但同时也带来了提高过载能力的难题。为此，利用有限元法，对牺牲层结构压
2018-11-05 15:27
目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展。基于MEMS工艺的硅压
2018-11-05 15:37
MEMS压力传感器在多种应用领域得到大量使用MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（
2016-12-14 17:25
扩散硅目的在于在设计制造压力传感器时可根据不同温度下硅扩散层的压阻特性选
2018-12-04 15:45
。[使用的材料 - 按方式分类的压力传感器]气压传感器的典型示例是使用硅（Si）半导体的压阻式。罗姆提供的气压
2019-03-13 06:20
压力传感器所属压力传感器中最常用的一种，在工业、电子、化工、医疗、军用、石油等领域中都有一定的应用。压力传感器的种类是非常多的，可以分为压
2016-04-27 16:29
美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车
2020-03-18 07:40
材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器，具有精度高、灵敏度高、动态特性好、体积小、耐腐蚀、成本低等优点。纯单晶硅的材料疲
2018-11-07 11:01
应变电阻，再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、
2016-12-07 15:42
