生物MEMS技术是用MEMS技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器，有一种在衬底上制造出的微型驱动泵、微控制阀、通道网络、样品处理器、混合池、计量、增扩
2020-11-10 10:00
MEMS传感器的主要分类MEMS传感器的主要
2020-12-03 07:28
MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学
2020-08-13 07:06
环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等。MEMS温度传感器可用于任何需要检测温度的地方。MEMS湿度
2023-07-26 14:22
典型应用如下图：随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切
2018-11-07 10:56
经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。 一、MEMS传感器的主要
2019-03-20 08:41
微机电系统（MEMS）压力传感器是一种基于微纳技术的传感器，可广泛应用于各个领域。本文将探讨MEMS压力
2023-06-18 11:37
低成本的INS/ GPS 组合导航系统 ,是一类非常适合构建微型捷联惯性导航系统的惯性传感器。MEMS惯性传感器的突出特点使其在众多的民用和军用领域具有广阔的应用前景。
2020-05-18 06:28
MEMS的主要优点是可以利用微电子技术将传感器、执行器和处理电路集成到集成的单片传感器或系统中,更可以实现
2020-11-18 15:32
MEMS让传感器小型化、智能化，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度
2018-04-12 11:25
