本文介绍了离子注入机的相关原理。 离子注入机的原理是什么？
2024-04-18 11:31
该专利揭示了一款专用于集成电路生产线的离子注入机，属于半导体加工设备技术领域。该设备主要由支撑框架、离子注入机构、照射箱组件和扰流机构组成，同时配备吸尘除尘组件。
2024-05-28 10:06
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入
2023-06-30 16:41
据了解，到2024年第一季度为止，该公司已陆续向多个特定客户发出了多个离子注入机订单，单季度就完成了八台离子注入机的客户端上线工作，呈现出迅猛增长的发展态势，取得了良好开局。
2024-03-30 09:34
离子注入设备和方法:最简单的离子注入机（图2）应包括一个产生离子的离子源和放置待处理物件的靶室。
2011-05-22 12:29
尽管SiC制造过程中的多数设备与常规硅类通用，但因其具备高硬度特性，需要专属设备支持，包括高级别的高温离子注入机、强效的碳膜溅射仪以及大规模的高温退火炉等。其中，能否拥有高温离子注入机被视为衡量SiC生产线水平的关键指标。
2024-05-17 09:47
离子注入是将高能离子注入半导体衬底的晶格中来改变衬底材料的电学性能的掺杂工艺。通过注入能量、角度和剂量即可控制掺杂浓度和深度，相较于传统的扩散工艺更为精确。
2024-02-21 10:23
近日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的设备如期交付，标志着公司国产离子注入机市场化进程再上新台阶。
2020-06-23 10:20
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入
2023-07-03 15:05
离子注入机是高压小型加速器中的一种，是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的
2020-10-10 16:55
