离子注入工艺资料~还不错哦~
2012-08-01 10:58
离子注入是将离子源产生的离子经加速后高速射向材料表面,当离子进入表面,将与固体中的原子碰撞,将其挤进内部,并在其射程前后和侧面激发出一个尾迹。这些撞离原子再与其它原子碰
2019-10-30 09:10
。【关键词】:离子注入;;H-SiC;;卢瑟福背散射技术;;射程分布【DOI】:CNKI:SUN:SDJC.0.2010-02-024【正文快照】:SiC是自第1代元素半导体(Si)和第2代化合物半导体
2010-04-22 11:36
的有氧化炉、沉积设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入机、清洗机、化学研磨设备等。以上是今日Enroo关于晶圆制造工艺及半导体设备的相关分享。
2018-10-15 15:11
如题,寻求一种Si衬底上N+离子注入的有效单项监控手段
2021-04-01 23:50
请问各位大侠,离子注入时有遇到做V-CURVE时,出现倒着的抛物线吗?急,在线等,谢谢!
2018-08-05 19:29
业界不断开发出一系列的先进工艺技术,例如多晶硅栅、源漏离子注入自对准、LDD离子注入、polycide、Salicide、SRD、应变硅和HKMG技术。另外,晶体管也从MOSFET演变为FD-SOI
2018-11-06 13:41
介质层进行P型杂质离子注入和N型杂质离子注入,进而形成P-层及JFET层。然后将JEFT层的中间区域作为半导体器件结构的JFET区域,在JEFT区域两侧进行
2020-07-07 11:42
应用 聚焦离子束系统除了具有电子成像功能外,由于离子具有较大的质量,经过加速聚焦后还可对材料和器件进行蚀刻、沉积、离子注入等加工。3.1 离子束成像 聚焦
2020-02-05 15:13
在 LTPS 制造过程中,使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时,应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容,并分析有源层离子注入前后的电位分布,如下图所示。 (a)FIB (b) 掺杂前后对比
2025-01-08 08:46