就是研发NA 0.5的光学镜片,这是EUV光刻机未来进一步提升分辨率的关键,不过高NA的EUV光刻机至少是2025-20
2020-07-07 14:22
在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,
2020-03-17 09:13
据韩媒报道称,ASML正积极投资研发下一代EUV光刻机,与现有光刻机相比,二代EUV
2019-08-07 11:24
量产是2024-2025年间。 ASML的EUV光刻机目前主要是NEX:3400B/C系列,NA数值孔径是0.33,下一代EUV
2021-01-22 17:55
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必
2020-10-19 12:02
一提起ASML这家公司,就少不了对光刻机问题的讨论,因为截至目前,ASML仍然是全球最领先的光刻机厂商。普通的DUV光刻机
2021-02-27 09:59
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外
2022-07-10 14:53
他们正在研发下一代极紫外光刻机的,计划在2022年年初开始出货,2024/2025年大规模生产。 在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的
2020-03-18 09:16
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
2022-07-10 15:28