,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
45-50台的交付量。这其中很大一部分都供给了台积电,用于扩充5nm,以及7nm产能。中微半导体除光刻机之外,蚀刻机也是5nm
2020-03-09 10:13
™ RTL-to-GDSII系统、TestMAX™ 测试与诊断、PrimeTime® signoff、StarRC®提取、RedHawk Analysis Fusion电源完整性,以及 IC Validator物理signoff 工具,提供最可预测的7nm全流程收
2020-10-22 09:40
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
,荷兰阿斯麦公司(ASML)横扫天下,谁先买到阿斯麦的光刻机,谁就能率先具备7nm工艺。国内单片机芯片:封测芯片做好后,得从晶圆上切下来,接上导线,装上外壳,顺便还得测试,这就叫封测。国内大陆的三大封
2018-09-03 16:48
从7nm到5nm,半导体制程芯片的制造工艺常常用XXnm来表示,比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm++制造工艺。所谓的XXnm指的是集成电路的MOSFET晶体管栅极
2021-07-29 07:19
随着半导体产业技术的不断发展,芯片制程工艺已从90nm、65nm、45nm、32nm、22nm、14
2019-12-10 14:38