！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限，所以Intel、三星和台积电都会在
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中芯国际的公报，目...
2021-07-29 09:36
，7项专利已经受理，5项专利正在申请中。目前拥有国内领先、部分产品国际领先的生产工艺，高纯超细氧化铝、5n氧化铝、超活性高纯纳米二氧化钛、
2011-11-12 09:57
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造，结果会怎样？
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步，对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关，电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长，而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
什么是纳米？为什么制程更小更节能？为何制程工艺的飞跃几乎都是每2年一次？
2021-02-01 07:54
有精度可以真正达到纳米的纳米位移计吗？
2015-08-26 10:41
纳米定位平台跟纳米平台的区别是什么？
2015-07-19 09:42
2022 年，四分之三的芯片市场仍然只需要 12 纳米工艺。所以改进现有技术所需的资源比研发 7 纳米甚至 5 纳米工
2018-09-05 14:38
