目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。
2022-07-10 14:53
光刻机用纳米位移系统设计
2025-02-06 09:38
大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv光刻机目前几纳米
2022-07-10 11:17
DUV已经能满足绝大多数需求：覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。duv的光源为准分子激光，光源的波长能达到193
2022-07-06 15:56
最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严
2020-10-19 11:42
全球最大的光刻机企业ASML表示DUV光刻机系统不需要向美国申请出口许可，它将向中国大量出售DUV光刻机，在中国建立合资
2020-11-09 11:40
日前晚间，据彭博社爆料称，美国正在对荷兰政府施压，要求其光刻机企业ASML禁止向中国大陆出售包括DUV光刻机在内的重要技术型产品。 在此之前，光刻机巨头ASML已经迫于
2022-07-06 18:00
荷兰阿斯麦（ASML）公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器，相信大家都有耳闻，它是加工芯片的设备。其最先进的EUV（极紫外光）光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片，据说一套最先进的
2020-10-15 09:20
众所周知，光刻机一直处于垄断地位，在光刻机领域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
