Borodovsky在采访中表示，另一个可能导致5nm缺陷的因素是现有的EUV光阻剂材料缺乏均匀度。此外，他还表示支持直接电子束写入，因为EUV使用的复杂相移光罩最终将膨胀至目前浸润式光罩价格的8倍。
2018-04-11 15:59
纳米电池由正负电极、电解质、聚合物隔离膜组成，纳米电池的负极材料是纳米化的天然石墨，纳米电池的正极是纳米化材料，采用由P
2019-12-03 09:05
纳米技术是一种高度前沿的技术，利用控制和操纵物质的尺寸在纳米级别来创造新的材料和应用。纳米技术的特点主要包括以下几个方面：高比表面积、尺寸效应、量子效应和可调控性。 首先，纳米
2024-01-19 14:06
纳米（nm）和米、厘米一样，是长度计量单位。一纳米为一毫米的百万分之一（10-9 米）。“纳米”并没有象某些媒体宣传的那样神奇，我国古代早有应用，如徽墨，其主体成分的炭黑就是纳
2018-01-15 10:19
三星以及台积电在先进半导体制程打得相当火热，彼此都想要在晶圆代工中抢得先机以争取订单，几乎成了 14 纳米与 16 纳米之争，然而 14 纳米与 16 纳米这两个数字的
2019-10-14 10:38
移动电话技术的进步不断挑战极限，要求SoC在提供不断提升的性能的同时，还能保持较长的电池续航时间。为了满足这些需求，业界正在逐步采用更低的技术节点，目前的设计都是在5纳米或更低的工艺下完成的。在这
2023-07-17 10:12
我们简单地来理解一下纳米材料和纳米科技的一些基本观念。首先我们讲的纳米材料主要指材料的三维尺寸中某一维的尺寸达到了纳米级，在 0.1 到 100
2019-06-16 10:13
纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围（1～100nm）或由它们作为基本单元构成的材料。正是由于基本组成单位尺度小，纳米材料具有很多其他普通尺度的材料所不具备的效应，具体包括体积效应、表面效应、介电限域、
2018-01-15 10:40
纳米特性传感器即利用纳米材料特性制成的传感器，纳米特性传感器的特征是比表面积大。随着接触面积的增大，便出现了许多特异的性能，可满足传感器功能要求的敏感度、应答速度、检测范围等。下面是几种
2018-05-16 09:52
