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  • 3nm及以下的5D提取需求

    有据可查的是,与平面晶体管相比,从16nm/14nm开始的FinFET技术大大增加了必须提取的寄生值的数量。这些类似3D架构的鳍片会产生许多电容值,必须提取这些电容值才能准确模拟电气行为,并最终

    2023-05-25 14:23

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    2019-10-26 11:13

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    2023-09-26 11:46

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    而且在堆叠层数增加的时候,存储堆栈的高度也在增大,然而每层的厚度却在缩小,以前的32/36层3D NAND的堆栈厚度为2.5μm,层厚度大约70

    2018-06-03 09:50

  • 薄膜厚度的检测技术有哪些

    对于薄膜厚度的准确测量,取决于使用什么样的厚度传感器,下面介绍目前在线薄膜厚度的检测技术主要有几种方式。

    2019-05-11 11:11

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    2018-05-28 16:25

  • 等效栅氧厚度的微缩

    为了有效抑制短沟道效应,提高栅控能力,随着MOS结构的尺寸不断降低,就需要相对应的提高栅电极电容。提高电容的一个办法是通过降低栅氧化层的厚度来达到这一目的。栅氧厚度必须随着沟道长度的降低而近似

    2025-05-26 10:02