光刻机是制作芯片的关键设备,利用光刻机发出的紫外光源通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的硅片曝光,使光刻胶性质变化、达到图形
2022-06-30 09:46
大家都知道,芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在,全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机,那么euv光刻机目
2022-07-10 11:17
将生产外包给中国大陆以外地区的代工厂,尤其是台积电的需求具有重要意义。 明年,同样重要的是,14nm 芯片也将大幅增加。在没有匹配的本土替代品的情况下,中芯国际使用由应用材料、LAM 和东京电子,以及ASML DUV(深紫外)
2021-06-23 16:42
据芯片行业来看,目前22nm和28nm的芯片工艺技术已经相当成熟了,很多厂商也使用22nm、
2022-06-29 09:47
在芯片制造的复杂流程中,光刻工艺是决定晶体管图案能否精确“印刷”到硅片上的核心环节。而光刻Overlay(套刻精度),则是衡量光
2025-02-17 14:09
光刻机用纳米位移系统设计
2025-02-06 09:38
光刻机是制作芯片并不可少的重要工具,大家都知道,光刻机技术几乎被荷兰ASML所垄断,那么全球最先进的光刻机是多少nm的?
2022-07-06 10:07
光刻机是芯片制造的核心设备之一,作为目前世界上最复杂的精密设备之一,其实光刻机除了能用于生产芯片之外,还有用于封装的光刻机
2020-03-18 11:12
刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多,在需要光刻机加工的时候刻蚀机有些不能办到,并且刻蚀机的精度十分笼统,而光刻机对精度的要求十分细致,所以
2022-02-05 15:47
虽然高端市场会被 7nm、10nm以及14nm/16nm工艺占据,但40nm、2
2020-10-15 11:18