目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。
2022-07-10 14:53
的不断提升，光刻机缩激光波长也在不断的缩小，从436nm、365nm的近紫外（NUV）激光进入到246nm、193nm的深紫外（DUV）激光，现在DUV光刻机是目前大量
2020-07-07 14:22
光刻机用纳米位移系统设计
2025-02-06 09:38
大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv光刻机目前几纳米
2022-07-10 11:17
芯国际已投产14nmFinFET工艺，上海华虹已投产28nm工艺，ASML此时表示可以向中国大量出售DUV光刻机，这有助于中国的芯片制造厂迅速扩张产能。 中国是全球最大制造国，除了对先进工艺有需求之外，确实也对较为落
2020-11-09 11:40
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38
DUV已经能满足绝大多数需求：覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。duv的光源为准分子激光，光源的波长能达到193纳米。
2022-07-06 15:56
最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7
2020-10-19 11:42
日前晚间，据彭博社爆料称，美国正在对荷兰政府施压，要求其光刻机企业ASML禁止向中国大陆出售包括DUV光刻机在内的重要技术型产品。 在此之前，光刻机巨头ASML已经迫于
2022-07-06 18:00
众所周知，光刻机一直处于垄断地位，在光刻机领域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21
