通过验收,这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。该***由中国科学院光电技术研究所研制,光刻分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳
2018-12-01 09:29
据cnBeta、环球网、快科技等多家媒体证实,近日长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元,约合人民币4.6亿元。
2018-11-22 15:32
英特尔在4月23日正式发布Ivy Bridge处理器。Ivy Bridge是英特尔首款22nm工艺处理器,采用革命性的三栅极3D晶体管工艺制造。紧随其后,美国FPGA厂商Achronix在次日便宣布发布全球首款22nm
2013-01-16 16:55
光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前,ASML垄断了全世界的高端光刻机。中国一直以来都想掌握光刻机技术,但是上海微电子经过17年的努力,才造出90
2020-01-29 11:07
引入不同的气态化学物质进行的,这些化学物质通过与基材反应来改变表面。IC最小特征的形成被称为前端制造工艺(FEOL),本文将集中简要介绍这部分,将按照如下图所示的 22 nm 技术节点
2023-12-06 18:17
光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备, 技术含量、价值含量极高。 光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,是所有半导体
2018-04-10 10:19
本文以光刻机为中心,主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及工作原理。
2017-12-19 13:33
intel的22nm 3D工艺牛,到底牛到什么程度,到底对业界有神马影响,俺也搞不太清楚。这不,一封email全搞定了。
2017-02-11 10:47
作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代
2020-08-28 14:39
英特尔也完成了旗下所有桌面级处理器22nm制程的升级,在这样一个具有历史意义的时刻,也是时候来研究一下为什么intel如此看重制程升级的原因了。
2013-02-26 10:04