技术节点的每次进步都要求对制造工艺变化进行更严格的控制。最先进的工艺现在可以达到仅7 nm的fin宽度,比30个硅原子稍大一点。半导体制造已经跨越了从纳米级到原子级工艺
2020-06-02 18:04
在英特尔简化的工艺流程中(见图 5),该工艺首先制造出鳍式场效应晶体管(finFET)或全栅极晶体管,然后蚀刻纳米硅片并填充钨或其他低电阻金属。
2024-02-28 11:45
IMD2 工艺与 IMD1工艺类似。IMD2 工艺是指在第二层金属与第三层金属之间形成的介质材料,形成电性隔离。
2024-10-25 14:49
本文主要针对用于ESD防护的SCR结构进行了研究。通过对其ESD泄放能力和工作机理的研究,为纳米工艺下的IC设计提供ESD保护。本文的研究主要集中在两种常见的SCR上,低触发电压SCR(LVTSCR)与二极管辅助触发SCR(DTSCR)。
2013-06-08 14:42
金属层2(M2)工艺与金属层1工艺类似。金属层2工艺是指形成第二层金属互
2024-10-24 16:02
纳米晶软磁合金是非晶态带材通过特殊的热处理工艺实现的。首先把具有特定成分的非晶态带材放进热处理炉里通过定向控制生成100纳米以内的晶粒,实际上形成的是非晶和纳米晶的混合
2018-09-29 14:14
纳米电池由正负电极、电解质、聚合物隔离膜组成,纳米电池的负极材料是纳米化的天然石墨,纳米电池的正极是纳米化材料,采用由P
2019-12-03 09:05
纳米技术是一种高度前沿的技术,利用控制和操纵物质的尺寸在纳米级别来创造新的材料和应用。纳米技术的特点主要包括以下几个方面:高比表面积、尺寸效应、量子效应和可调控性。 首先,纳米
2024-01-19 14:06
纳米(nm)和米、厘米一样,是长度计量单位。一纳米为一毫米的百万分之一(10-9 米)。“纳米”并没有象某些媒体宣传的那样神奇,我国古代早有应用,如徽墨,其主体成分的炭黑就是纳
2018-01-15 10:19
三星以及台积电在先进半导体制程打得相当火热,彼此都想要在晶圆代工中抢得先机以争取订单,几乎成了 14 纳米与 16 纳米之争,然而 14 纳米与 16 纳米这两个数字的
2019-10-14 10:38