据悉，下一代EUV光刻机必须要升级下一代的高NA(数值孔径)标准，从现在的0.33 NA提升到0.55 NA，更高的NA意味着更分辨率更高，是3nm之后的工艺必备的条件。
2022-11-30 09:52
大体上1Xnm工艺相当于16-19nm级别、1Ynm相当于14-16nm，1Znm工艺相当于12-14nm级别。
2020-03-22 14:28
纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围（1～100nm）或由它们作为基本单元构成的材料。正是由于基本组成单位尺度小，纳米材料具有很多其他普通尺度的材料所不具
2018-01-15 10:40
纳米电池由正负电极、电解质、聚合物隔离膜组成，纳米电池的负极材料是纳米化的天然石墨，纳米电池的正极是纳米化材料，采用由P
2019-12-03 09:05
纳米技术是一种高度前沿的技术，利用控制和操纵物质的尺寸在纳米级别来创造新的材料和应用。纳米技术的特点主要包括以下几个方面：高比表面积、尺寸效应、量子效应和可调控性。 首先，纳米
2024-01-19 14:06
纳米（nm）和米、厘米一样，是长度计量单位。一纳米为一毫米的百万分之一（10-9 米）。“纳米”并没有象某些媒体宣传的那样神奇，我国古代早有应用，如徽墨，其主体成分的炭黑就是纳
2018-01-15 10:19
三星以及台积电在先进半导体制程打得相当火热，彼此都想要在晶圆代工中抢得先机以争取订单，几乎成了 14 纳米与 16 纳米之争，然而 14 纳米与 16 纳米这两个数字的
2019-10-14 10:38
非晶纳米晶磁芯是一种具有特殊磁性特性的材料，广泛应用于电子和电力领域。这种材料的磁性能主要来源于其独特的微观结构，即非晶态和纳米晶态的结合。 1. 非晶纳米晶磁芯的基本
2024-10-09 09:10
我们简单地来理解一下纳米材料和纳米科技的一些基本观念。首先我们讲的纳米材料主要指材料的三维尺寸中某一维的尺寸达到了纳米级，在 0.1 到 100
2019-06-16 10:13
纳米特性传感器即利用纳米材料特性制成的传感器，纳米特性传感器的特征是比表面积大。随着接触面积的增大，便出现了许多特异的性能，可满足传感器功能要求的敏感度、应答速度、检测范围等。下面是几种
2018-05-16 09:52
