精密机械方面涉及到纳米精度的位移控制技术等，这些技术发展中涉及的加工和检测设备也都是各时代最尖端的设备，因此高精度光刻机也被称为“人类历史上最精密”的机器之一。 光刻机
2024-11-21 13:43
尺寸精度：基座的长、宽、高尺寸公差一般要控制在 ±1-±3mm 范围内，具体取决于设备的规格要求。例如，对于高精度光刻机的防震基座，尺寸公差可能要求在 ±1mm 以内。安装孔的位置
2024-12-26 16:45 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
，但是由于面板光刻机针对的是薄膜晶体管，芯片光刻机针对的是晶圆，面板光刻机精度要求远低于芯片光刻机，只要达到pm级别即可
2025-01-16 09:29
刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多，在需要光刻机
2022-02-05 15:47
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
不会有我们现在的手机、电脑了。 光刻机是用于芯片制造的核心设备，按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。
2021-07-07 14:31
ASML的极紫外光刻机（EUV），这个是当前世界顶级的光刻机设备。 在芯片加工的时候，光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段，通过带有电路图的掩模传输光束。 光刻设备涉
2022-07-10 11:17
光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备， 技术含量、价值含量极高。 光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术，是所有半导体制造
2018-04-10 10:19
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。光刻机是采用
2022-02-05 16:03
