实际过程肯定没这么简单，上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光，经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台，上面放的就设计公司做好的光掩膜
2020-07-07 14:22
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相
2020-09-02 17:38
众所周知，光刻机一直处于垄断地位，在光刻机领域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21
一提起ASML这家公司，就少不了对光刻机问题的讨论，因为截至目前，ASML仍然是全球最领先的光刻机厂商。普通的DUV光刻机就不多说了，ASML每年都能卖出去很多台，而在
2021-02-27 09:59
众所周知，想要在芯片领域打破由欧美国家所垄断的市场，必须要解决光刻机的问题，这是传统硅基芯片制造过程中最为重要的一环。而在光刻机领域，荷兰的ASML则是光刻机领域金字塔
2021-04-16 14:31
经常听说，高端光刻机不仅昂贵而且还都是国外的，那么什么是光刻机呢？上篇我们聊了从原材料到抛光晶片的制成过程，今天我们就来聊聊什么是
2020-03-15 14:46
10nm集成电路制造，业界已经开始尝试采用极紫外光刻机，再下一代产品高数值孔径EUV光刻机目前正在研发当中，预计未来2-3年有可能被开发出来，其可以支持5nm、3nm及以下的工艺制造。非关键层
2018-07-13 17:25
众所周知，说起芯片，大家就会想到光刻机，说起光刻机，大家就会想到ASML。因为在芯片生产中，光刻机特别重要，而ASML又是高端光
2020-02-20 20:30
，中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司（SMEE）已经量产的光刻机中，性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外
2020-03-18 10:52
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
