配气面板也需要测试整体漏率, 使用上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340, 真空模式下, 漏率设置为 5.5x10-10 Pa m3/s.
2023-06-02 15:13 伯东企业(上海)有限公司 企业号
半导体设备光刻机防震基座在 LCD 面板制造曝光机中的成功应用案例-江苏泊苏系统集成有限公司一、案例背景在 LCD(Liquid Crystal Display)面板制造领域,曝光机
2024-12-24 14:43 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
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2024-04-25 18:29 深圳市汇能远科技有限公司 企业号
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2023-05-11 13:36 伯东企业(上海)有限公司 企业号