许多MEMS 驱动器都是利用静电力作用驱动力。在很多微型电动机和制动器的设计工作中，准确的估算静电力大小是非常重要的。
2022-12-13 09:13
据麦姆斯咨询报道，美国阿贡国家实验室（Argonne National Laboratory）和哈佛大学（Harvard University）的研究人员在《APL Photonics》期刊发表了题为“Dynamic metasurface lens based on MEMS technology”的论文，论文详细阐述了研究人员通过将定制设计的超表面转移到2D扫描MEMS平台上，从而创造出极薄的可重构透镜的操作过程。
2018-05-28 09:57
纳米发电机依靠两种材料接触所起的静电驱动电子的流动而产生电力。
2018-11-15 15:22
MEMS微振镜也称为MEMS扫描镜、MEMS微镜，本文统一采用MEMS微振镜表达。按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电
2019-05-02 10:03
ADI MEMS开关技术的核心是静电驱动、微加工、金悬臂梁开关元件的概念。MEMS开关可以被认为是微米级的机械继电器，具有金属对金属触点，通过高直流电压驱动的静电
2023-01-04 14:23
中山大学电子与信息技术学院林佑昇副教授团队近日在Electronics期刊上发表了一篇综述文章，研究并评估了利用静电驱动(ESA)、电热驱动(ETA)、电磁驱动(EMA
2022-03-21 16:49
据麦姆斯咨询报道，中山大学电子与信息技术学院林佑昇副教授团队近日在Electronics期刊上发表了一篇综述文章，研究并评估了利用静电驱动(ESA)、电热驱动(ETA)、电磁驱
2022-02-11 10:53
静电力是另一种可能引起粘附的作用力。在静电驱动或摩擦的作用下，残余电荷会集聚在MEMS器件中的绝缘部件或绝缘层上，例如：氧化硅或氮化硅绝缘层和疏水涂层等。相邻表面的残余电荷引起
2019-02-14 14:08
本发明的扭转式微机械磁场传感器由于采用静电驱动方式工作，器件的功耗几乎为零，不存在功耗过大而导致的器件温度稳定性问题；由电磁感应定律可知，本发明的扭转式微机械磁场传感器在大范围的磁场测量中都具有极佳的线性度。
2018-01-03 14:28
中兴大学今年就发表一款「仿生软性机器人」，系结合矽胶材质，触感有如人类的皮肤，甚至可靠静电原理驱动感测功能，达到自主感知外部的刺激状态并实时做出反应，这项研究成果还被刊登至国际知名期刊。
2018-10-20 07:23
