研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,
2009-06-22 13:12
发展迅速。与国外相比，国内对硅微传感器的研究起步较晚，所做的工作主要集中在硅微加
2018-11-01 17:23
基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 硅微
2009-12-04 09:42
本文对硅微加速度计研究中的热点——电容式加速度计和隧道
2010-08-09 17:07
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴
2009-11-26 11:58
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴
2009-12-12 15:24
本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和
2009-09-07 08:26
ZVT-PWM柔切式升壓型電力轉換器之小訊號建模及控制 Small-Signal Modeling and Control of ZVT-PWM Boost Converters 本
2010-03-26 08:28
表面微加工是一种用来构建硅机电结构的技术。 结合板载信号调理电路，可将完整的机电系统经济高效地构建在单个硅片上。 用于汽车安全气囊的加速度计是第一款成功商用的表面微加工
2018-10-15 10:33
提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度走小，保证输出电压与
2010-08-17 16:58
