{"error":{"root_cause":[{"type":"query_shard_exception","reason":"failed to create query: {\n \"regexp\" : {\n \"keyword\" : {\n \"value\" : \".*阿斯麦尔(ASML光刻机型号.*\",\n \"flags_value\" : 65535,\n \"max_determinized_states\" : 10000,\n \"boost\" : 1.0\n }\n }\n}","index_uuid":"SON-ziQURzKK3JljPlVlCQ","index":"recommend_keyword_search_v1"}],"type":"search_phase_execution_exception","reason":"all shards failed","phase":"query","grouped":true,"failed_shards":[{"shard":0,"index":"recommend_keyword_search_v1","node":"-Gn7X2aRSFmN2hMyaNEUCA","reason":{"type":"query_shard_exception","reason":"failed to create query: {\n \"regexp\" : {\n \"keyword\" : {\n \"value\" : \".*阿斯麦尔(ASML光刻机型号.*\",\n \"flags_value\" : 65535,\n \"max_determinized_states\" : 10000,\n \"boost\" : 1.0\n }\n }\n}","index_uuid":"SON-ziQURzKK3JljPlVlCQ","index":"recommend_keyword_search_v1","caused_by":{"type":"illegal_argument_exception","reason":"expected ')' at position 18"}}}]},"status":400}
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求
2022-08-04 17:18 伯东企业(上海)有限公司 企业号
半导体设备光刻机防震基座在 LCD 面板制造曝光机中的成功应用案例-江苏泊苏系统集成有限公司一、案例背景在 LCD(Liquid Crystal Display)面板制造领域,曝光机
2024-12-24 14:43 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
泊苏 Type C 系列防震基座在半导体光刻加工电子束光刻设备的应用案例-江苏泊苏系统集成有限公司一、企业背景与光刻加工电子束光刻设备挑战某大型半导体制造企
2025-01-07 15:13 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
随着汽车市场的不断发展和消费者对行车安全需求的日益提升,行车记录仪已成为行车安全不可或缺的重要工具。近日,深圳市锐斯特科技有限公司发布了基于星宸科技SSC377系列芯片的黑光全彩行车记录仪,由欧立
2024-05-07 14:21 SigmaStar星宸科技 企业号
支持一体化实验室建设:5nm集成电路“虚实联动”线下实验室建设。支持科研课题与文章发表支持教育部A类学科竞赛产业场景:自动化建造系统、EUA光刻机、商用仿真器14纳米级别……一、人工智能与集成电路
2024-01-03 11:12 北京革新创展科技有限公司 企业号
本案例是模拟将Modbus TCP 设备数据接入到罗克韦尔PLC的Ethernet网络中。使用设备为罗克韦尔ABPLC1769-L32E,开疆智能Ethernet/IP转ModbusTCP网关
2023-09-04 15:24 北京开疆智能技术有限公司 企业号