为了在基板上形成功能性的MEMS结构，必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常，蚀刻过程分为两类：浸入化学溶液后材料溶解的湿法蚀刻干蚀刻，其中使用反应性离子或气相蚀刻剂溅射或溶解材料在下文中，我们将简要讨论最流行的湿法和干法蚀刻技术。
2021-01-09 10:17
直流变交流电的原理是什么？希望图解，谢谢！
2019-04-17 17:30
这是个升压电路，这个电路是怎么把直流变成交流的
2015-01-14 13:49
直流变换器电路图
2019-09-30 09:11
谁来阐述一下电感式传感器可分为哪两大类？
2019-11-18 15:14
` 谁知道双绞线分为哪两种？`
2019-12-31 15:53
电机是怎样进行分类的？可以分为哪几类？怎样去设计一种基于STM32单片机的直流电机驱动电路？
2021-08-19 07:31
电机可分为哪几类？无刷直流/永磁同步电机的运行原理是什么？无刷直流电机与永磁同步电机的异同点分别是什么？
2021-09-09 06:00
三相交流电流变送器是一种将电网中的三相交流电流隔离变送成线性的直流模拟信号的装置。
2019-09-12 09:10
` 谁来阐述一下双绞线分为哪两种？`
2020-03-16 17:03
