越好，NA越大越好，这样光刻机分辨率就越高，制程工艺越先进。） 最初的浸入式光刻就是很简单的在晶圆光刻胶上加1mm厚的水，水可以把193nm的光波长折射成134nm，
2020-07-07 14:22
投入使用高NA EUV光刻机已经势在必行了。 据了解，一台高NA
2022-12-07 07:25
投入使用高NA EUV光刻机已经势在必行了。据了解，一台高NA
2022-12-07 01:48
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外
2022-07-10 14:53
光刻机的原理是接近或接触光刻，通过无限接近，将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上，通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影光刻是集成电路的主流
2022-07-10 15:28
来源：激光行业观察 编辑：感知芯视界 万仞 长春光机所，又跑出一个IPO。 近日，长春长光辰芯微电子股份有限公司向上交所科创板递交招股书已进入问询阶段。如无意外，这将是继长光卫星、长光华芯之后，长春光机所
2023-10-10 13:46
。媒体称，台积电采购的EUV光刻机已经超过30台，三星累计采购的EUV光刻机不到20台。 围绕芯片制造要用到的关键设备光刻机
2020-10-19 12:02
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03
本文介绍了如何提高光刻机的NA值。 为什么光刻机希望有更好的NA值？怎样提高？ 什么是NA值？ 如上图是某型号的
2025-01-20 09:44
格芯首席技术官Gary Patton表示，如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机，那么光刻的步骤将会超过100步，这会让人疯狂。所以所EUV
2019-09-03 17:18
