在完成选择性氧化制程后,通常会将蚀刻后残留在磊晶片表面继续作为氧化制程保护层的 SiO2或 SiNx以RIE 蚀刻去除,然后再将样品放入 PECVD 重新成长 SiO2或 SiNx表面披覆层(surface passivation)以保护元件不受外界环境水氧侵袭同时提供电性绝缘,典型的制程参数为反应腔体中通入氮气稀释之5%矽烷(SiH4),流量160 sccm,笑气(N2O)流量710 sccm,RF 功率20W,压力500mTorr,制程温度300°C,成长时间5分钟,总厚度为 200nm。 接下来就可以经由黄光微影制程定
2025-01-24 10:59
容量衰减则来自于锂与电解液的反应与其自身的粉化过程。锂的反应性较为活泼,会与电解液反应,消耗一定的活性锂,造成一部分电池容量损失;同时,充放电过程中锂金属的粉化(dusting)会造成阻抗的上升,耗费电池电量。
2022-04-21 15:32
多层片状陶介电容器由陶瓷介质、外部端电极、内部金属电极三种材料构成,失效形式为金属电极和陶介之间层错,电气表现为受外力(如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下)和温度冲击(如烙铁焊接)时电容时好时坏。
2018-09-06 17:19
多层片状陶介电容器由陶瓷介质、端电极、金属电极三种材料构成,失效形式为金属电极和陶介之间层错,电气表现为受外力(如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下)和温度冲击(如烙铁焊接)时电容时好时坏。
2023-10-26 10:14
相比于传统的金属电极,由于石墨烯对光极低的吸收率,使得石墨烯作为热电极可以紧紧的贴合在光波导的表面,而几乎不用考虑石墨烯对光的吸收所带来的损耗
2017-02-13 10:24
多层片状陶介电容器由陶瓷介质、端电极、金属电极三种材料构成,失效形式为金属电极和陶介之间层错,电气表现为受外力(如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下)和温度冲击(如烙铁焊接)时电容时好时坏。
2017-12-22 16:08
多层片状陶介电容器由陶瓷介质、端电极、金属电极三种材料构成,失效形式为金属电极和陶介之间层错,电气表现为受外力(如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下)和温度冲击(如烙铁焊接)时电容时好时坏。
2021-06-10 17:55
多层片状陶介电容器由陶瓷介质、端电极、金属电极三种材料构成,失效形式为金属电极和陶介之间层错,电气表现为受外力(如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下)和温度冲击(如烙铁焊接)时电容时好时坏。
2024-01-10 09:28
研究人员称,在他们研发的电池中,金属电极可以在20摄氏度(68华氏度)的温度下保持液化,这是液态金属电池有史以来最低的工作温度。这是一个重大的变化,因为目前的液态金属电池必须保持在240摄氏度以上的温度。
2020-07-10 17:26
电容器是由两块金属电极之间夹一层绝缘电介质构成。当在两金属电极间加上电压时,电极上就会存储电荷,所以电容器是储能元件。任何两个彼此绝缘又相距很近的导体,组成一个电容器。平行板电容器由电容器的极板和电介质组成。
2017-11-14 15:15