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在完成选择性氧化制程后，通常会将蚀刻后残留在磊晶片表面继续作为氧化制程保护层的 SiO2或 SiNx以RIE 蚀刻去除，然后再将样品放入 PECVD 重新成长  SiO2或 SiNx表面披覆层（surface passivation）以保护元件不受外界环境水氧侵袭同时提供电性绝缘，典型的制程参数为反应腔体中通入氮气稀释之5%矽烷（SiH4），流量160 sccm，笑气（N2O）流量710 sccm，RF 功率20W，压力500mTorr，制程温度300°C，成长时间5分钟，总厚度为 200nm。 接下来就可以经由黄光微影制程定

2025-01-24 10:59

金属电极对高阶泛音石英晶体谐振器振动频率的影响The Effect of Metal Electrodes on the Higher-order Overtone Vibrations of Quartz Crystal Resonators在石英晶体谐振器的生产中，常常在谐振器晶

2008-11-24 16:14

容量衰减则来自于锂与电解液的反应与其自身的粉化过程。锂的反应性较为活泼，会与电解液反应，消耗一定的活性锂，造成一部分电池容量损失；同时，充放电过程中锂金属的粉化（dusting）会造成阻抗的上升，耗费电池电量。

2022-04-21 15:32

我们知道，在石英谐振器的制造过程中，为了使得石英板与金属电极粘接得更好、更牢固，通常将石英板上的传导金属电极制成了双层结构。对于传统的谐振器，相对较薄的

2008-11-24 21:37

晶体硅太阳能电池丝网印刷金属电极： 正面栅线 背电场 背电极

2017-09-27 18:32

多层片状陶介电容器由陶瓷介质、端电极、金属电极三种材料构成，失效形式为金属电极和陶介之间层错，电气表现为受外力（如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下）和温度冲击（如烙铁焊接）时电容时好时坏。

2023-10-26 10:14

多层片状陶介电容器由陶瓷介质、外部端电极、内部金属电极三种材料构成，失效形式为金属电极和陶介之间层错，电气表现为受外力（如轻轻弯曲板子或用烙铁头碰一下）和温度冲击（如烙铁焊接）时电容时好时坏。

2018-09-06 17:19

相比于传统的金属电极，由于石墨烯对光极低的吸收率，使得石墨烯作为热电极可以紧紧的贴合在光波导的表面，而几乎不用考虑石墨烯对光的吸收所带来的损耗

2017-02-13 10:24