使用超临界流体去除污染物的过程，即高于其临界温度和压力的类气体物质。超临界流体具有类液体溶剂化特性和类气体扩散和粘度，使
2022-04-12 15:19
何为超临界流体？超临界流体(supercritical fluids，SCF)具有类似气体的扩散性质，其界面张力为零,容易实现石墨插层；具有类似液体的溶解能力。将高温高
2023-07-06 10:07
超临界二氧化碳(COC)由于其低成本、低毒性、不燃性和环境可接受性，已被确定为各种精密清洁应用中氟氯化碳的有前途的溶剂替代品。本文介绍了最近使用COC作为清洗溶剂的经验，以将该技术应用于商业实践。
2022-04-06 13:30
在芯片制程进入纳米时代后，一个看似矛盾的难题浮出水面：如何在不损伤脆弱纳米结构的前提下，彻底清除深孔、沟槽中的残留物？传统水基清洗和等离子清洗由于液体的表面张力会损坏高升宽比结构中，而超临界二氧化碳（sCO₂）清洗技术，凭借其独特的物理特性，正在改写半导体清洗的规则。
2025-06-03 10:46
本文根据超临界1000MW机组锅炉的设计、制造、安装、运行特点，结合锅炉材料特性，在线动态评估锅炉高温炉管和高温部件的使用状态和剩余寿命。
2011-07-21 14:23
作为半导体器件和MEMS微加工技术基础的光刻技术中，显影和清洗等湿法工艺是必不可少的。在本稿中，介绍了能够定量评价超临界CO2处理对微细光刻胶图案―基板间的粘接强度带来的影响的、用于微小结构材料的粘
2022-02-25 15:31
传统湿法清洗工艺在新一代半导体制作中具有根本的局限性，而湿法清洗后利用超临界二氧化碳的干法干燥法是克服这一局限性的替代方法，考察了超临界干燥法作为中间置换溶剂对IPA的二氧化碳溶解度。
2022-03-23 16:36
%，完成测试的电池在手套箱内完成拆解，将取出的电芯，利用超临界二氧化碳萃取设备进行萃取，然后利用气相色谱仪对上述分离的电解液进行了成分分析。
2018-02-23 10:36
引言 利用现有的超临界二氧化碳进行蚀刻和干燥的工艺由两阶段工艺组成：在高压干燥器外部利用溶剂对晶片进行蚀刻,然后移动到高压干燥器,利用超临界二氧化碳进行清洗和干燥。利用该工艺在本研究中进行了试验
2022-06-02 16:55
