表面微加工是一种用来构建硅机电结构的技术。 结合板载信号调理电路，可将完整的机电系统经济高效地构建在单个硅片上。 用于汽车安全气囊的加速度计是第一款成功商用的
2017-03-20 01:10
单晶硅是最先尝试使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化学惰性和热稳定性，而且硅的微细加工技术已趋成熟。即使复杂的三维结构，也可用整体和表面微加工技术进行高精度的复制。
2018-05-09 11:11
创建灵敏的MEMS结构的工艺技术介绍 表面微加工技术可用于创建微机电传感器及激励器系统，它能够通过高适应度的弹性，形成锚
2010-03-11 14:20
与表面微加工技术不同，BMF的打印机可以构建高深宽比的微型器件。此外，它们制造样品或小批量产品的速度更快，因此，这方面它们也比“刻蚀速度慢，需要键合工艺构建复杂结构的批量微机械
2021-03-29 16:54
CMOS器件是在硅材料上逐层制作而成的。虽然蚀刻和沉积是标准工艺，但它们主要使用光刻和等离子蚀刻在裸片上创建图案。另一方面，MEMS是采用体硅加工工艺嵌入到硅中，或通过表面微加
2020-09-01 11:21
本文首先介绍了微流控芯片的发展，其次介绍了微流控芯片的原理与特点，最后详细介绍了微流控芯片加工技术。
2018-05-10 16:27
激光微纳加工技术利用激光脉冲与材料的非线性作用，可以<100nm精度实现传统方法难以实现的复杂功能结构和器件的增材制造。而激光直写（DLW）光刻是一项具有空间三维加工能力的
2023-12-22 10:34
核心特点是将实验流程微型化，并通过微机电加工技术在芯片上构建微流路系统。 CNC加工技术的基本原理 CNC（计算机数控）加工技术是一种利用计算机控制机床进行零件
2024-12-27 14:41
硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅
2018-04-12 08:40
