使得一致且可重复的低成本量产成为可能。什么造就了表面微加工的多样化？微加工结构具有较小的特性尺寸，因而在同一块芯片内放置
2018-10-15 10:33
表面微加工是一种用来构建硅机电结构的技术。 结合板载信号调理电路，可将完整的机电系统经济高效地构建在单个硅片上。 用于汽车安全气囊的加速度计是第一款成功商用的
2017-03-20 01:10
单晶硅是最先尝试使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化学惰性和热稳定性，而且硅的微细加工技术已趋成熟。即使复杂的三维结构，也可用整体和表面微加工技术进行高精度的复制。
2018-05-09 11:11
创建灵敏的MEMS结构的工艺技术介绍 表面微加工技术可用于创建微机电传感器及激励器系统，它能够通过高适应度的弹性，形成锚
2010-03-11 14:20
与表面微加工技术不同，BMF的打印机可以构建高深宽比的微型器件。此外，它们制造样品或小批量产品的速度更快，因此，这方面它们也比“刻蚀速度慢，需要键合工艺构建复杂结构的批量微机械
2021-03-29 16:54
表面硅MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术，它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。什么是表面硅MEMS
2018-11-05 15:42
CMOS器件是在硅材料上逐层制作而成的。虽然蚀刻和沉积是标准工艺，但它们主要使用光刻和等离子蚀刻在裸片上创建图案。另一方面，MEMS是采用体硅加工工艺嵌入到硅中，或通过表面微加
2020-09-01 11:21
一、绿色机械加工技术的特点与优势绿色机械加工技术是以实现资源最大化利用为目的机械加工技术。基于我国供给侧结构性改革的具体要求，绿色机械加工技术具有以下特点：（1）能源高
2018-03-06 09:26
