之前的小讲堂有介绍过,光刻过程就好比用照相机拍照,将掩模版上的芯片设计版图曝光到晶圆上,从而制造出微小的电路结构。ASML光刻机的镜片组使用极其精密的加工手段制造,使得最终像差被控制在納米级别,才能稳定地通过曝光印刷
2023-05-25 10:13
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉,这样看起来似乎没什么难的,但是有一个形象的比喻,每
2019-03-14 14:15
顶级光刻机有多难搞?ASML的光刻机,光一个零件他就调整了10年!拿荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例,其内部精密零件多达
2020-07-02 09:38
不会有我们现在的手机、电脑了。 光刻机是用于芯片制造的核心设备,按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。
2021-07-07 14:31
不同芯片的DMA(Direct Memory Access)是不一样的
2023-10-16 09:14
气密性测试与气压测试有什么不一样的呢?
2021-12-27 15:38
光刻机的原理是接近或接触光刻,通过无限接近,将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上,通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影
2022-07-10 15:28
这里想分享C++中一个不一样的重载,即const重载。
2023-02-21 14:02