传感器IC将使用压阻式压力接收元件（隔膜结构和压阻集成在一起※MEMS），以及温度校正处理、控制电路等的集成电路（※ASIC）集成在一个封装里，可以轻松获得高精度的
2019-05-15 02:36
片技术，将性能稳定的薄膜片电阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面缩短了传感器响应时间，另一方面由于采用
2016-12-07 15:42
。 除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEM5触觉
2013-10-11 16:21
的微型器件研究，还有很多创新工作要做，不然就会面临发展停滞的风险。技术优势：用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可
2018-11-12 10:51
了通过体加工和表面加工方法、利用压阻、电容和光学技术制备的基于洛伦兹力的MEMS磁传感器，并介绍了各种结构磁传感器的灵敏
2018-11-09 10:38
什么是气压传感器？压力传感器的工作原理是什么？主要有哪几种？MEMS气压传感器
2021-07-08 07:27
（图4），将压力直接导入在压力传感器的应力薄膜上（图5），同时这个孔还将环境温度直接导入半导体温度传感器上。
2010-04-01 08:40
传感器IC将使用压阻式压力接收元件（隔膜结构和压阻集成在一起※MEMS），以及温度校正处理、控制电路等的集成电路（※ASIC）集成在一个封装里，可以轻松获得高精度的
2019-03-13 06:20
传感器，那今天peakcoo就来聊下气压传感器DSH700。高精度气压传感器一般是利用
2021-11-22 06:04
目前的高精度气压传感器一般是利用MEMS技术在单晶硅片上加工出真空腔体和惠斯登电桥，惠斯登电桥桥臂两端的输出电压与施加的压力成正比。经过
2019-07-19 06:44
