，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中芯国际的公报，目...
2021-07-29 09:36
荷兰作为光刻的生产大国，很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国光刻机的发展分析以及与荷兰之间的差
2017-12-19 14:56
，国际上有些厂商已抛却了研发7nm制程芯片，中国***的联电科技宣告抛却7nm制程及更先进工艺的研发，研发7nm支持这家公司就是中芯国际，目前已向荷兰ASML公司订购了
2018-10-05 08:16
自从芯片工艺进入到7nm工艺时代以后，需要用到一台顶尖的EUV光刻机设备，才可以制造7nm EUV、5nm等先进制程工艺的芯片产品，但就在近日，又有外媒豪言：这种顶尖的
2020-12-03 13:46
大家都知道，目前我国光刻机技术至少落后荷兰ASML15年，目前荷兰ASML的顶级光刻机可以达到7nm工艺，目前他们正大研
2020-04-19 23:43
据国外媒体报道，在芯片的制造过程中，光刻机是必不可少的设备，在芯片工艺提升到7nm EUV、5nm之后，极紫外光刻机也就至关重要。
2020-03-07 14:39
光刻机是半导体芯片生产过程中的关键设备，光刻机所使用的光源波长直接决定着芯片的工艺级别。例如，目前最先进的芯片制程7nm\5nm等，都离不开EUV极紫外
2020-10-16 11:01
的要求则反过来，我们要确保影像要绝对清晰，就要将对焦点落在光阻上，并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢？ 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内，是不是有点
2020-09-02 17:38
光刻机是制作芯片并不可少的重要工具，大家都知道，光刻机技术几乎被荷兰ASML所垄断，那么全球最先进的光刻机是多少nm的？
2022-07-06 10:07
