集成电路芯片持续朝着密度不断增加和器件尺寸不断微缩的方向发展，其中最为关键的一个参数就是栅极线条宽度。任何经过光刻后的光刻胶线条宽度或刻蚀后栅极线条宽度与设计尺寸的
2023-05-24 09:25
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2025-01-22 15:11
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