CMP(Chemical Mechanical Polishing)即“化学机械抛光”,是为了克服化学抛光和机械抛光的缺点
2023-12-05 09:35
在前道加工领域:CMP 主要负责对晶圆表面实现平坦化。晶圆制造前道加工环节主要包括7个相互独立的工艺流程:光刻、刻蚀、薄膜生长、扩散、离子注入、化学机械抛光、金属化 CMP 则主要用于衔接不同薄膜
2023-07-10 15:14
。随着芯片的高性能/低电力化,工艺变得复杂化,仅前工序就已经达到数百工序,其中约1/4~1/5被清洗工序所占据。特别是在FEOL中,1970年开发出了组合高纯度药品使用的RCA清洗,现在也被广泛使用。在
2022-04-20 16:11
化学机械研磨工艺操作的基本介绍以及其比单纯物理研磨的优势介绍。
2023-11-29 10:05
有朋友看到这个题目很疑惑,“望闻问切”不是医学术语吗?和芯片工艺有什么联系吗?两个风马牛不相及的行业能有什么共通之处?当
2024-01-18 11:10
外,学生还就感兴趣的课题做深入调研。师生共同讨论调研报告,实现教学互动。调研的内容涉及光刻工艺、光刻成像理论、SMO、OPC和DTCO技术。
2023-06-20 10:51
CMP在不同的语境下有不同的含义,一种是指芯片多处理器(Chip Multiprocessors),另一种是指“比较”(compare)的缩写。 CMP与编程语言中的比较功能
2024-12-17 09:30
使用 cmp 命令进行数据库管理可能不是最直观的方法,因为 cmp 通常用于比较两个文件是否相同。然而,如果你的意图是使用 cmp 来检查数据库文件或备份文件的一致性,以下是一些技巧和步骤,可以帮助
2024-12-17 09:31
芯片的封装工艺始于将晶圆分离成单个的芯片。划片有两种方法:划片分离或锯片分离。
2023-11-09 14:15
氮化镓芯片是一种新型的半导体材料,由于其优良的电学性能,广泛应用于高频电子器件和光电器件中。在氮化镓芯片的生产工艺中,主要包括以下几个方面:材料准备、芯片制备、工厂测试
2024-01-10 10:09