/洁净室作为无尘车间建设工程中的一个重要分类,对于洁净室各项参数控制和车间功能布局分区等都有特殊要求。 一、航空航天无尘车间
2023-09-26 08:55
洁净环境区域内单位体积空气中,含大于或等于被考虑的某一粒径悬浮粒子数的统计数量来区分的洁净程度。而尘埃粒子计数器是测量洁净车间单位体积内微粒数和粒径分布的检测仪器,广泛
2020-11-16 14:46
引言 正在开发化学下游蚀刻(CDE)工具,作为用于半导体晶片处理的含水酸浴蚀刻的替代物。对CDE的要求包括在接近电中性的环境中获得高蚀刻速率的能力。高蚀刻率是由含NF”
2022-06-29 17:21
高精密、高精细的半导体集成电路产品生产离不开高标准的生产车间,很多半导体集成电路的企业都对自家的半导体无尘车间采用了严格的防控措施,比如在洁净室内设置化学过滤器,来保证整个区域的环境
2020-09-18 14:52
好消息,好消息,中微公司于近期成功研制出3nm蚀刻机,且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估,并已进入量产阶段。
2021-05-27 11:49
晶片全面曝光的方法,使单一晶片上可以获得更多的芯片(chip)。如此一来,虽然产率得以提高,但同时也制造一些工艺处理问题。特别在对硅晶片蚀刻深凹槽(deeptrench)工艺方面。 由于采用全面曝光
2018-03-16 11:53
在半导体领域,为了保证硅片及芯片等元件的清洁度,达到国际化的无尘标准,需要完整且品质良好的无尘车间洁净室,而从无尘车间的等级到使用范围再到具体的客户要求,生产加工的每个
2025-05-28 14:05 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
许多产品在生产加工的时候对车间的洁净度是有极高要求的,像当前新型冠状病毒疫情期间,口罩的需求量非常大,口罩生产车间的洁净度也是保证口罩品质的指标之一。而激光粉尘传感器可
2020-03-30 16:59
案例精选: 近日,能迪科技接到马来西亚古晋隆基电池四期年产2.8GW M10高效单晶PERC电池项目,要求对工厂洁净车间的空调系统设备进行智能控制以及集中监控。 项目介绍: 洁净车间是工厂能耗大户
2021-12-03 17:38
程度时(空气压力通常达到2Pa) ,蚀刻质量会非常高。这种蚀刻方法使用硫酸锦和过硫酸镀作蚀刻剂。滋泡蚀刻最主要的缺点是当
2018-09-11 15:27