成特定的图形才能用于芯片, 因 LiNbO3 惰性特性, 使用 ICP 或 RIE 工艺无法完成刻蚀, 上海伯东 IBE 离子束刻蚀机为铌酸锂 LiNbO3 薄膜
2024-09-13 10:59 伯东企业（上海）有限公司 企业号
半导体工艺一般会产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱分析仪与 Scrubber 半导体尾气处理设备
2024-10-18 13:24 伯东企业（上海）有限公司 企业号
阐述电解电容制造工艺流程对于电子元器件这块的知识，想必大家平时生活中很少接触到，但无时无刻不在使用它。那么铝电解电容整个制造工艺流程是怎样进行的呢?接下来由华凯小编介绍了解一下铝电解电容的工艺
2022-04-06 18:15 华凯电容（深圳）有限公司 企业号
有机物清洗, 金属氧化物的去除等, 提高沉积薄膜附着力, 纯度, 应力, 工艺效率等！KRi 离子源预清洁可以实现去除物理吸附污染: 去除表面污染, 如水, 吸附气
2023-05-25 10:10 伯东企业（上海）有限公司 企业号
刻蚀是半导体制造中最常用的工艺之一, 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱仪适用于等离子体刻蚀过程及终点监测 (干法刻蚀终点检测), 通过持续监控腔室工艺化学气体, 确保半导体晶圆生产
2024-10-18 13:33 伯东企业（上海）有限公司 企业号
上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和过程气体监测, 满足半导体工艺过程中
2024-10-18 13:42 伯东企业（上海）有限公司 企业号
