离子注入工艺资料~还不错哦~
2012-08-01 10:58
离子注入是将离子源产生的离子经加速后高速射向材料表面，当离子进入表面，将与固体中的原子碰撞，将其挤进内部，并在其射程前后和侧面激发出一个尾迹。这些撞离原子再与其它原子碰
2019-10-30 09:10
【作者】：秦希峰;季燕菊;王凤翔;付刚;赵优美;梁毅;【来源】：《济南大学学报(自然科学版)》2010年02期【摘要】：鉴于利用离子注入技术掺杂制作光电集成器件时,离子注入半导体材料的射程分布、射程
2010-04-22 11:36
的有氧化炉、沉积设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入机、清洗机、化学研磨设备等。以上是今日Enroo关于晶圆制造工艺及半导体设备的相关分享。
2018-10-15 15:11
如题，寻求一种Si衬底上N+离子注入的有效单项监控手段
2021-04-01 23:50
请问各位大侠，离子注入时有遇到做V-CURVE时，出现倒着的抛物线吗？急，在线等，谢谢！
2018-08-05 19:29
TSMC，中芯国际SMIC 组成:核心:生产线，服务:技术部门，生产管理部门，动力站（双路保障），废水处理站(环保，循环利用)等。生产线主要设备: 外延炉，薄膜设备，光刻机，蚀刻机，离子注入机，扩散炉
2025-03-27 16:38
, 垂直地射向样品表面, 进行物理轰击, 使得反应离子刻蚀具有很好的各向异性。离子注入机离子注入机是高压小型加速器中的一种。它是由离子源得到所需要的
2018-09-03 09:31
应用 聚焦离子束系统除了具有电子成像功能外，由于离子具有较大的质量，经过加速聚焦后还可对材料和器件进行蚀刻、沉积、离子注入等加工。3.1 离子束成像 聚焦
2020-02-05 15:13
介质层进行P型杂质离子注入和N型杂质离子注入，进而形成P-层及JFET层。然后将JEFT层的中间区域作为半导体器件结构的JFET区域，在JEFT区域两侧进行离子注入，形成半导体器件结构的体区域。接着再
2020-07-07 11:42
