低温多晶硅制程是利用准分子雷射作为热源，雷射光经过投射系统後，会产生能量均匀分布的雷射光束，投射于非晶矽结构的玻璃基板上，当非晶矽结构玻璃基板吸收准分子雷射的能量后，会转变成为多晶硅结构，因整个处理过程都是在600℃以下完成，所以一般玻璃基板皆可适用。
2019-09-18 09:11
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2010-10-31 14:00
部分不被明显损伤。在表面硅MEMS加工技术中，通常是以LPCVD法制作的多晶硅作为结构层而以LPCVD法或PECVD法制作的PSG或PBSG作为牺牲层材料。PSG或PBSG结构疏松，可以在氢氟酸（HF
2018-11-05 15:42
掺杂N型和P型杂质来改变其功函数，从而调节器件的阈值电压。因为MOS器件的阈值电压由衬底材料和栅材料功函数的差异决定的，多晶硅很好地解决了CMOS技术中的NMOS和PMOS阈值电压的调节问题。如图
2018-11-06 13:41
为什么多晶硅栅上还要再摞一层钨？不用不行吗？ 求大虾指点
2012-01-12 17:22
%），接着是将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶
2011-12-02 14:30
。栅介质材料采用SiO2，因为SiO2可以与硅衬底形成非常理想的Si-SiO2界面。如图1.13（a）所示，是最初铝栅的MOS管结构图。图1.13铝栅和多晶硅栅的MOS管结构图1.2
2018-09-06 20:50
太阳能光伏电池，其现阶段能源转换效率都很难达到10%，这与采用硅材料的太阳能光伏电池接近20%的发电效率还相去甚远。只有在成本上大幅低于后者，“脱硅”才有可能迅速推进。 几年前，居高不下的
2012-07-19 15:33
基于MEMS的微型磁场传感器具有体积小、价格低、功耗小、便携等特点，是近几年来磁场传感器研究的热点。目前主要有利用永磁体受力的磁场传感器，利用洛伦兹力以及多晶硅压阻检测磁场的传感器以及
2019-09-20 06:18
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2010-10-31 14:01
